“MAU+RCAU”系統的優勢
“MAU+RCAU”系統的優勢在一些溫濕度控制精度較高的的潔凈車間，每個車間需要獨立設置空調機組，這些空調機組都需設置新風處理功能段等完整的功能段，這樣意味著所有空調箱五臟俱全，如果廠房內潔凈車間較多時，空調箱數量就很多，會造成空調機房偏大，投資增加，維護工作量加大等不利因素。
如果采用新風集中處理，再分配給各個空調凈化系統，這樣雖然增加了一臺新風機組（MAU)，但是其他循環空調箱（RCAU)均減少了很多功能段，節省了設備投資也節省了空調機房面積及機房外墻新風百葉開口數量。
在冬季室外氣溫較低的北方地區新風往往要預熱，不然與一次回風直接混合的時候很有可能產生冷凝水；潔凈車間一般部有濕度要求，冬季處理過程往往需要加濕空氣，因此白白加大了加濕負荷。夏季新風含濕量高，溫度也高，與回風直接混合后，有可能需要多級多排的表冷器來處理，大大加大了空調機組表冷器負擔。然而新風集中處理后再送入循環空調箱與回風混合，減少了循環空調箱的功能段及過濾器的更換頻率，降低了循環空調箱的風機壓頭，避免了能源的浪費。新風作為潔凈室控制的重要污染源，集中預處理可以強化新風的過濾和便于管理，為潔凈室運行提供更安全的保障。
采用“MAU+RCAU”方式中，新風處理到室內送風露點，以滿足潔凈室的濕度要求。處理后新風通過風管送至各循環空調箱，經與回風混合后再通過表冷或者加熱處理來滿足潔凈室的溫度要求。這樣使潔凈空調系統的濕度和溫度分別由新風處理機組和空調循環機組來負責，使溫度和濕度控制具有獨立性及可操作性，尤其是在潔凈室內新風量變化時其優越性體現得更為明顯。
“MAU+RCAU”系統的控制方案
新風機組（MAU)采用變頻風機，由總送風管上的靜壓傳感器來控制變頻器。在接入循環機組(RCAU)的新風支管上均設置電動調節閥，由各潔凈室的正壓值來調節電動調節閥的開度，使潔凈室的正壓值不隨生產設備的排風量的變化而變化，電動調節閥的開度變化引起總送風管上的靜壓變化，根據其設定值調節(MAU)的風機頻率，來控制新風機組的總送風量；
控制新風機組（MAU)送風狀態點，使其與潔凈房間的送風露點相同，這樣就可以保證凈化車間的濕度要求。根據送風狀態設定值來調節加濕器的電動執行機構和表冷器及加熱器回水管上的電動二通閥的開度；露點溫度“DPT”由檢查室內濕度敏感元件“HE”連續整定。
凈化生產車間的溫度是由循環機組（RCAU)來保證的，經新風處理機處理后的空氣狀態為潔凈房間的送風露點，新回風混合點一定在該潔凈房間的熱濕比線上，根據室內溫度來調節表冷器和加熱器回水管上的電動二通閥的開度。
一般情況下，在電子潔凈廠房中，大部分潔凈室溫濕度要求基本都相同而且也允許一定范圍的波動，這些車間都可以使用“MAU+RCAU”系統。但在某些車間具有很大的室內產濕量，其熱濕比線并不是一條豎直的直線，采用新風集中預處理系統就無法滿足要求，應該考慮獨立的空氣處理方式；還有就是當RCAU系統的新風比均比較大的時候，使用“MAU+RCAU”系統也很難體現其優勢。
