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科技創新

高效空氣過濾器

高效空氣過濾器
高效空氣過濾器[14]
隨著潔凈技術的發展，高效空氣過濾器無論是過濾材料、結構形式、密封材料、外框材料以及檢測方法變化發展很快，尤其是集成電路生產的日新月異，要求生產環境達到控制微粒直徑為0.05~0.1μm，空氣潔凈度登記要求1級甚至更為嚴格，并且還要控制生產環境中的分子級化學污染物、重金屬污染物等。為了滿足各種工業產品細微化、高精密度的要求，除了從潔凈室的布置、圍護和室內裝飾以及凈化空調系統的形式、氣流流型等方面采用可靠地技術措施外，關鍵技術措施之一便是選用符合要求的高效空氣過濾器（HEPA）、超高效空氣過濾器（ULPA）。在這方面國內外的科研、設計和制造廠家都做了大量研究開發工作，取得了許多可用的成果，但是國產高效過濾器的產品與國際先進產品相比仍有較大差距，尤其是用于比5級（100級）和要求嚴更嚴格的潔凈室用高效過濾器、超高效過濾器的質量、檢測方法等方面存在著較大差距。
我國的國家標準GB13354-92《高效空氣過濾器》中規定，高效過濾器是采用納焰法檢測，其效率達到99.9%以上的過濾器；或對粒徑≥0.1μm的微粒采用粒子計數測定法，其效率達到99.999%以上的過濾器。高效過濾器的分類見

表4-37   高效過濾器的分類

類別

性能指標

額定風量下效率η/%

20%額定風量下效率η/%

額定風量下初阻力/Pa

出廠檢漏

A

B

C

D

≥99.9

≥99.99

≥99.999

≥99.999（0.1μm）

—

≥99.99

≥99.999

≥99.999（0.1μm）

≤190

≤220

≤250

≤280

—

—

檢漏

檢漏


高效過濾器的耐火分級為3級。1級過濾器，過濾器的全部材料都是不燃的，不燃性材料應符合國家標準GB8624，A級;2級過濾器濾料應為不燃性材料，其要求同1級；分隔板、框架可采用符合GB8624，B2級的可燃性材料；3級過濾器，過濾器的全部材 料可采用符合GB8624 ，B2級的可燃性材料。

高效過濾器的規格按有分隔板過濾器和無分隔板過濾器列于表4-38和表4-39中。

表4-38   有分隔板過濾器規格

 

規格代號

外形尺寸/mm

額定風量/m3.h-1

H

W

D

4

400

400

150

500

5

500

500

150

750

6

600

600

150

1000

7

700

700

150

1500

8

800

800

150

2000

9

900

900

150

2500


注：1.當深度為 220mm 時，其相應額定風量比表中數值增加50%；當寬度尺加大50%或1倍時，則其相應額定風量也比表中數值增大50%或1倍。
2.當寬度尺寸加大50 %或 1倍時，其相應額定風量比表中數值也增大50%或 1倍；但7號和7號以上規格的寬度尺寸不得加大，主要是考慮過濾器的穩定性。

表4-39   無分隔板過濾器規格

規格代號

外形尺寸/mm

額定風量/m3.h-1

H

W

D

4

400

400

80

650

5

500

500

80

1000

6

600

600

80

1500

7

700

700

80

2000

8

800

800

80

2500

9

900

900

80

3000


注：1.當深度為 220mm 時，其相應額定風量比表中數值增加50%；當寬度尺寸加大50%或1倍時，則其相應額定風量也比表中數值增大50%或1倍。
2.當寬度尺寸加大50 %或 1倍時，其相應額定風量比表中數值也增大50%或 1倍；但7號和7號以上規格的寬度尺寸不得加大，主要是考慮過濾器的穩定性。

高效過濾器的標注方式如下，型號規格、代號見表 4-40。

表4-40  高效過濾器型號規格代號

 

序號

項目名稱

含義

代號

1

產品名稱

高效空氣過濾器

G

2

 

結構類別

有分隔板過濾器

Y

無分隔板過濾器

W

3

性能類別

按效率阻力高低分四級

A，B，C，D

4

耐火級別

按結構耐火程度分三級

1，2，3

5

基本規格

表4-38、表4-39中每一編號代表一種規格

4，5，......6，...9

6

其他規格

當表4-38中深度為220mm時

S

當寬度為基本規格1.5倍時

Z

當寬度為基本規格2倍時

K


標注示例：GY-A-3-6型表示A類有分隔板過濾器，3級耐火，外形尺寸600mm×600mm×150mm額定風量1000m3/h；GY-A-3-6KS型則表示外形尺寸為600mm×1200mm×220mm，額定風量為1300m3/h。

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