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高效過濾器檢漏是確保潔凈室設施中空氣流通效率的關鍵步驟,主要目的是驗證過濾器是否存在旁路滲漏或缺陷,如過濾器介質和密封框架上的小孔、其他損傷以及邊框泄漏等,以確保終端高效過濾器的安裝良好。
DOP法通過將DOP液體加熱成蒸氣,蒸氣在特定條件下冷凝成微小液滴,形成單分散相氣溶膠顆粒。通過光散射式光度計檢測過濾器前后氣樣的濁度比來計算過濾器的過濾效率。
這是一種國際上高效過濾器的主流試驗方法,通過大流量激光粒子計數器或凝結核計數器對過濾器的整個出風面進行掃描檢驗,可以測量過濾器的平均效率,同時比較各點的局部效率(滲漏試驗)。
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